կիսահաղորդչային գազի զտիչներ

Ինչու՞ է անհրաժեշտ գազի ֆիլտրերի օգտագործումը կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում: 

Գազի ֆիլտրերը կարևոր են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում մի քանի կարևոր պատճառներով.

1. Աղտոտիչների հեռացում

Կիսահաղորդիչների արտադրությունը ներառում է բազմաթիվ զգայուն գործընթացներ, որտեղ նույնիսկ ամենափոքր աղտոտիչները,

ինչպիսիք են փոշու մասնիկները, խոնավությունը կամ քիմիական մնացորդները, կարող են վնասակար ազդեցություն ունենալ: Գազի ֆիլտրերը հանվում են

մասնիկները, կեղտերը և օդափոխվող աղտոտիչները գործընթացային գազերից՝ ապահովելով մաքուր միջավայր

և պահպանելով կիսահաղորդչային վաֆլիների ամբողջականությունը:

2. Ուլտրա-մաքրության ստանդարտների պահպանում

Կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը պահանջում է օգտագործվող գազերի մաքրության չափազանց բարձր մակարդակ, քանի որ կեղտը կարող է

հանգեցնել կիսահաղորդչային սարքերի թերությունների. Գազի ֆիլտրերը օգնում են հասնել ծայրահեղ մաքուր գազի որակի, կանխելով

աղտոտվածություն և արտադրանքի հետևողականության և հուսալիության ապահովում:

3. Պաշտպանիչ սարքավորումներ

Գազերի աղտոտիչները ոչ միայն կարող են վնասել կիսահաղորդչային վաֆլիներին, այլև վնասել զգայուն

արտադրական գործընթացում օգտագործվող սարքավորումներ, ինչպիսիք են քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD) ռեակտորները և

փորագրման համակարգեր: Գազի զտիչները պաշտպանում են այս թանկարժեք մեքենաները վնասից՝ նվազեցնելով դրա վտանգը

պարապուրդը և ծախսատար վերանորոգումը:

4. Բերքատվության կորստի կանխարգելում

Եկամտաբերությունը շատ կարևոր է կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ, որտեղ թերությունները կարող են առաջացնել արտադրության զգալի կորուստ:

Նույնիսկ մեկ մասնիկը կամ քիմիական անմաքրությունը կարող է հանգեցնել բերքատվության կորստի՝ ազդելով արտադրողականության և եկամտաբերության վրա:

Գազի զտիչները ապահովում են, որ գործընթացի գազերը մաքուր են՝ նվազագույնի հասցնելով աղտոտվածությունը և նվազեցնելով ելքի կորուստը:

5. Ապրանքի որակի ապահովում

Հետևողականությունն ու որակը առաջնային են կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ: Աղտոտված գազերը կարող են ստեղծել

անհամապատասխանություններ, որոնք հանգեցնում են անվստահելի կիսահաղորդչային սարքերի: Օգտագործելով գազի զտիչներ, արտադրողները կարող են

երաշխավորում է, որ յուրաքանչյուր խմբաքանակ համապատասխանում է պահանջվող որակի խիստ չափանիշներին, ինչը հանգեցնում է ավելի բարձր սարքի

կատարումը և երկարակեցությունը:

6. Անգործության ժամանակի կրճատում

Գործընթացային գազերի աղտոտիչները կարող են առաջացնել սարքավորման խափանում՝ սպասարկման կամ փոխարինման անհրաժեշտություն առաջացնելով:

Օգտագործելով գազի զտիչներ՝ արտադրողները կարող են նվազեցնել անսպասելի պարապուրդը, պահպանել գործառնական արդյունավետությունը և

երկարացնել կրիտիկական սարքավորումների կյանքի ժամկետը.

7. Քիմիական համատեղելիություն

Կիսահաղորդչային պրոցեսներում օգտագործվող գազերից շատերը խիստ ռեակտիվ կամ քայքայիչ են: Գազի զտիչներ են

նախագծված է դիմակայելու այս դաժան քիմիական միջավայրերին՝ միաժամանակ արդյունավետ կերպով զտելով կեղտերը՝ ապահովելով

անվտանգ և արդյունավետ վերամշակում:

Ընդհանուր առմամբ, գազի ֆիլտրերը կենսական նշանակություն ունեն կիսահաղորդչի մաքրությունը, հուսալիությունը և անվտանգությունը պահպանելու համար

արտադրական գործընթացը, որն օգնում է ձեռք բերել բարձրորակ, անսարք կիսահաղորդչային արտադրանք, մինչդեռ

նաև պաշտպանում է արժեքավոր սարքավորումները:

Գազի ֆիլտրերի տեսակները կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում

Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում տարբեր տեսակի գազի ֆիլտրեր օգտագործվում են տարբեր ուղղությունների համար

փուլեր և մարտահրավերներ՝ կապված գազի մաքրության և սարքավորումների պաշտպանության հետ:

Սովորաբար օգտագործվող գազի ֆիլտրերի տեսակները ներառում են.

1. Մասնիկների զտիչներ

* ՆպատակըԳործընթացի գազերից մասնիկները, փոշին և այլ պինդ աղտոտիչներ հեռացնելու համար:

* ՕգտագործումըՀաճախ տեղադրվում է տարբեր փուլերում՝ վաֆլիները, մշակման խցիկները և սարքավորումները մասնիկներով աղտոտվածությունից պաշտպանելու համար:

*ՆյութերՍովորաբար պատրաստված է չժանգոտվող պողպատից, PTFE-ից կամ այլ նյութերից, որոնք ապահովում են ամրություն և քիմիական համատեղելիություն:

2. Մոլեկուլային կամ քիմիական զտիչներ (Getter Filters)

* ՆպատակըՀատուկ մոլեկուլային աղտոտիչները հեռացնելու համար, ինչպիսիք են խոնավությունը, թթվածինը կամ օրգանական միացությունները, որոնք կարող են առկա լինել գործընթացի գազերում:

* ՕգտագործումըՕգտագործվում է, երբ պահանջվում է բարձր մաքրության գազ, օրինակ՝ նստեցման կամ փորագրման գործընթացների ժամանակ:

*ՆյութերՀաճախ կառուցված է ակտիվացված փայտածուխի, ցեոլիտի կամ այլ ներծծող նյութերի միջոցով, որոնք հատուկ նախագծված են մոլեկուլային կեղտերը թակարդելու համար:

3. Բարձր մաքրության գազի զտիչներ

* ՆպատակըԳազի գերբարձր մաքրության (UHP) ստանդարտներին հասնելու համար, ինչը կարևոր է կիսահաղորդչային գործընթացների համար, որտեղ ամենափոքր անմաքրությունը կարող է ազդել արտադրանքի որակի վրա:

* ՕգտագործումըԱյս զտիչներն օգտագործվում են այնպիսի գործընթացներում, ինչպիսիք են Քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD) և պլազմային փորագրումը, որտեղ կեղտերը կարող են լուրջ թերություններ առաջացնել:

*ՆյութերՊատրաստված է չժանգոտվող պողպատից՝ հատուկ թաղանթներով՝ բարձր ճնշման և ծայրահեղ պայմաններում ամբողջականությունը պահպանելու համար:

4. Գազի զանգվածային զտիչներ

* ՆպատակըԳազերը մուտքի կետում կամ արտադրական գծեր բաշխելուց առաջ մաքրելու համար:

* ՕգտագործումըՏեղադրված է գազի մատակարարման համակարգում հոսանքին հակառակ՝ գազերը զանգվածաբար զտելու համար՝ նախքան դրանք առանձին գործիքներին կամ ռեակտորներին մատակարարելը:

*ՆյութերԱյս զտիչները հաճախ մեծ հզորություն ունեն գազերի մեծ ծավալների հետ աշխատելու համար:

5. Օգտագործման կետի (POU) գազի զտիչներ

* ՆպատակըԱպահովել, որ յուրաքանչյուր հատուկ մշակման գործիքին մատակարարվող գազերը զերծ լինեն որևէ աղտոտիչից:

* ՕգտագործումըՏեղադրվել է անմիջապես նախքան գազերի ներմուծումը գործընթացի սարքավորումներ, ինչպիսիք են փորագրման կամ նստեցման խցիկները:

*ՆյութերՊատրաստված է կիսահաղորդչային գործընթացներում օգտագործվող ռեակտիվ գազերի հետ համատեղելի նյութերից, ինչպիսիք են սինթրած մետաղը կամ PTFE:

6. Ներքին գազի զտիչներ

* ՆպատակըԲաշխիչ համակարգով շարժվող գազերի ներգծային ֆիլտրում ապահովելու համար:

* ՕգտագործումըՏեղադրված է գազատարներում առանցքային կետերում՝ ապահովելով շարունակական զտում ամբողջ համակարգում:

*ՆյութերՍինտերված չժանգոտվող պողպատ կամ նիկել՝ գազերի հետ քիմիական համատեղելիություն ապահովելու համար:

7. Մակերեւութային լեռան գազի զտիչներ

* ՆպատակըԱնմիջապես տեղադրվելու է գազի վահանակի բաղադրիչների վրա՝ մասնիկները և մոլեկուլային աղտոտիչները հեռացնելու համար:

* ՕգտագործումըԱյս զտիչները, որոնք տարածված են նեղ տարածություններում, ապահովում են արդյունավետ ֆիլտրում կարևոր կիրառություններում:

*ՆյութերԲարձր մաքրության չժանգոտվող պողպատ՝ կայունության և կիսահաղորդչային արտադրական գազերի հետ համատեղելիության համար:

8. Ենթամիկրոնային զտիչներ

* ՆպատակըԶտել չափազանց փոքր մասնիկները, որոնք հաճախ փոքր են, քան փոքր չափսերը, որոնք դեռ կարող են առաջացնել զգալի թերություններ կիսահաղորդչային գործընթացներում:

* ՕգտագործումըՕգտագործվում է այնպիսի գործընթացներում, որոնք պահանջում են ֆիլտրման ամենաբարձր մակարդակը՝ ծայրահեղ մաքուր գազի մատակարարումը պահպանելու համար, ինչպիսին է ֆոտոլիտոգրաֆիան:

*ՆյութերԲարձր խտության սինթրած մետաղ կամ կերամիկական նյութեր, որոնք կարող են արդյունավետորեն թակարդել նույնիսկ ամենափոքր մասնիկները:

9. Ակտիվացված ածխածնի զտիչներ

* ՆպատակըՕրգանական աղտոտիչները և ցնդող գազերը հեռացնելու համար:

* ՕգտագործումըՕգտագործվում է այն ծրագրերում, որտեղ գազային կեղտերը պետք է հեռացվեն՝ վաֆլի աղտոտումը կամ ռեակցիայի խանգարումները կանխելու համար:

*ՆյութերԱկտիվացված ածխածնի նյութեր, որոնք նախատեսված են օրգանական մոլեկուլները կլանելու համար:

10.Պղտորված մետաղական գազի զտիչներ

* ՆպատակըՄասնիկներն ու կեղտերը արդյունավետորեն հեռացնելու համար՝ ապահովելով կառուցվածքային ամրություն և դիմադրություն բարձր ճնշմանը:

* ՕգտագործումըԼայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային գործընթացի մի քանի փուլերում, որտեղ անհրաժեշտ է ամուր զտում:

*ՆյութերՍովորաբար պատրաստված է չժանգոտվող պողպատից կամ այլ մետաղական համաձուլվածքներից՝ դաժան միջավայրին և քիմիական նյութերին դիմակայելու համար:

11.Հիդրոֆոբ գազի զտիչներ

* ՆպատակըԽոնավության կամ ջրի գոլորշիների ներթափանցումը գազի հոսք կանխելու համար, ինչը կարևոր է որոշակի գործընթացներում, որոնք զգայուն են նույնիսկ աննշան քանակությամբ խոնավության նկատմամբ:

* ՕգտագործումըՀաճախ օգտագործվում է այնպիսի գործընթացներում, ինչպիսիք են վաֆլի չորացումը կամ պլազմային փորագրումը:

*ՆյութերՀիդրոֆոբ թաղանթներ, ինչպիսիք են PTFE-ը, ապահովելու համար, որ գազերը մնան խոնավությունից զերծ աղտոտվածությունից:

Գազի ֆիլտրերի այս տարբեր տեսակները խնամքով ընտրված են՝ ելնելով դրանց հատուկ հատկություններից, նյութերի համատեղելիությունից և կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացների եզակի պայմաններին համապատասխանությունից: Զտիչների ճիշտ համադրությունը կարևոր է գազի մաքրության ամենաբարձր մակարդակը պահպանելու, գործընթացի կայունությունն ապահովելու և կիսահաղորդչային սարքերի թերությունները կանխելու համար:

Որոշ ՀՏՀ կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերի մասին

ՀՏՀ 1:

Որո՞նք են կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերը և ինչու են դրանք կարևոր:

Կիսահաղորդչային գազի զտիչները կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում կարևոր բաղադրիչներ են:

Դրանք նախատեսված են գործընթացի գազերից կեղտերը և աղտոտիչները հեռացնելու համար, ինչպիսիք ենթթվածին,

ազոտ, ջրածին և տարբեր քիմիական գազեր.

Այս կեղտերը կարող են զգալիորեն ազդել կիսահաղորդչային սարքերի որակի, թողունակության և հուսալիության վրա:

Արդյունավետորեն զտելով գազի հոսքերը՝ կիսահաղորդչային գազի զտիչները օգնում են.

1. Պահպանեք բարձր մաքրություն.

Համոզվեք, որ արտադրական գործընթացում օգտագործվող գազերը զերծ են աղտոտիչներից, որոնք կարող են վատթարացնել սարքի աշխատանքը:

2. Կանխել սարքավորումների վնասը.

Պաշտպանեք զգայուն կիսահաղորդչային սարքավորումները մասնիկներից և քիմիական աղտոտումից, ինչը կարող է հանգեցնել ծախսատար պարապուրդի և վերանորոգման:

3. Բարելավել արտադրանքի եկամտաբերությունը.

Նվազեցնել գազի արտանետվող կեղտերի հետևանքով առաջացած թերությունները և խափանումները, ինչը հանգեցնում է արտադրության ավելի բարձր եկամտաբերության:

4. Բարձրացնել սարքի հուսալիությունը.

Նվազագույնի հասցնել կիսահաղորդչային սարքերի երկարաժամկետ քայքայումը աղտոտման հետ կապված խնդիրների պատճառով:

ՀՏՀ 2:

Որո՞նք են կիսահաղորդչային գազի զտիչների ընդհանուր տեսակները:

Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվում են գազի զտիչների մի քանի տեսակներ, որոնցից յուրաքանչյուրը նախատեսված է հեռացնելու համար

հատուկ տեսակի աղտոտիչներ.

Ամենատարածված տեսակները ներառում են.

1. Մասնիկների զտիչներ.

Այս զտիչները գազային հոսքերից հեռացնում են պինդ մասնիկները, ինչպիսիք են փոշին, մանրաթելերը և մետաղական մասնիկները:

Դրանք սովորաբար պատրաստված են այնպիսի նյութերից, ինչպիսիք են սինթրած մետաղը, կերամիկական կամ թաղանթային ֆիլտրերը:

2.Քիմիական զտիչներ.

Այս զտիչները հեռացնում են քիմիական կեղտերը, ինչպիսիք են ջրի գոլորշիները, ածխաջրածինները և քայքայիչ գազերը:

Դրանք հաճախ հիմնված են կլանման կամ կլանման սկզբունքների վրա՝ օգտագործելով այնպիսի նյութեր, ինչպիսիք են ակտիվացված ածխածինը,

մոլեկուլային մաղեր կամ քիմիական սորբենտներ:

3. Համակցված զտիչներ.

Այս ֆիլտրերը համատեղում են մասնիկների և քիմիական ֆիլտրերի հնարավորությունները՝ հեռացնելու երկու տեսակները

աղտոտիչներ. Նրանք հաճախ օգտագործվում են կրիտիկական ծրագրերում, որտեղ բարձր մաքրությունը էական է:

ՀՏՀ 3:

Ինչպե՞ս են ընտրվում և նախագծվում կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերը:

Կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերի ընտրությունը և ձևավորումը ներառում են մի քանի գործոններ, ներառյալ.

* Գազի մաքրության պահանջներ.

Հատուկ գազի հոսքի համար մաքրության ցանկալի մակարդակը որոշում է ֆիլտրի ֆիլտրման արդյունավետությունը և հզորությունը:

* Հոսքի արագություն և ճնշում.

Զտվող գազի ծավալը և աշխատանքային ճնշումը ազդում են ֆիլտրի չափի, նյութի և կազմաձևի վրա:

* Աղտոտիչների տեսակը և կոնցենտրացիան.

Գազի հոսքում առկա աղտոտիչների հատուկ տեսակները թելադրում են ֆիլտրի միջավայրի ընտրությունը և դրա ծակոտիների չափը:

*Ջերմաստիճանը և խոնավությունը.

Աշխատանքային պայմանները կարող են ազդել ֆիլտրի աշխատանքի և կյանքի տևողության վրա:

* Արժեքը և սպասարկումը.

Պետք է հաշվի առնել ֆիլտրի սկզբնական արժեքը և դրա ընթացիկ պահպանման պահանջները:

Այս գործոնները ուշադիր դիտարկելով՝ ինժեներները կարող են ընտրել և նախագծել գազի ֆիլտրեր, որոնք համապատասխանում են կոնկրետ պահանջներին

կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացի կարիքները.

Որքա՞ն հաճախ է անհրաժեշտ գազի ֆիլտրերը փոխարինել կիսահաղորդչային արտադրության մեջ:

Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ գազի ֆիլտրերի փոխարինման հաճախականությունը կախված է մի քանի գործոններից, այդ թվում՝ տեսակից.

գործընթացը, աղտոտիչների մակարդակը և օգտագործվող ֆիլտրի հատուկ տեսակը: Սովորաբար գազի ֆիլտրերը փոխարինվում են կանոնավոր կերպով

սպասարկման ժամանակացույց՝ աղտոտման ցանկացած վտանգ կանխելու համար,հաճախ 6-12 ամիսը մեկ, կախված օգտագործման պայմաններից

և ֆիլտրի արտադրողի առաջարկությունները:

Այնուամենայնիվ, փոխարինման ժամանակացույցերը կարող են շատ տարբեր լինել՝ կախված գործառնական միջավայրից: Օրինակ՝

*Բարձր աղտոտման գործընթացներ:

Զտիչները կարող են ավելի հաճախակի փոխարինման կարիք ունենալ, եթե դրանք ենթարկվում են բարձր մակարդակի

մասնիկների կամ մոլեկուլային աղտոտվածություն:

*Կրիտիկական ծրագրեր:

Այն գործընթացներում, որոնք պահանջում են չափազանց բարձր մաքրություն (օրինակ, ֆոտոլիտոգրաֆիա), ֆիլտրերը հաճախ փոխարինվում են

կանխարգելիչ կերպով ապահովելու, որ գազի որակը չի վտանգի ենթարկվի:

Ֆիլտրի վրա դիֆերենցիալ ճնշման մոնիտորինգը սովորական մեթոդ է որոշելու, թե երբ է անհրաժեշտ ֆիլտրը փոխարինել:

Քանի որ աղտոտիչները կուտակվում են, ֆիլտրի վրա ճնշման անկումը մեծանում է, ինչը ցույց է տալիս արդյունավետության նվազում:

Շատ կարևոր է փոխարինել ֆիլտրերը մինչև դրանց արդյունավետության անկումը, քանի որ գազի մաքրության ցանկացած խախտում կարող է առաջացնել զգալի թերություններ,

նվազեցնել եկամտաբերությունը և նույնիսկ հանգեցնել սարքավորումների վնասմանը:

Ինչ նյութերից են պատրաստված գազի զտիչները կիսահաղորդչային կիրառությունների համար:

Կիսահաղորդչային կիրառություններում օգտագործվող գազի ֆիլտրերը պատրաստված են նյութերից, որոնք կարող են պահպանել մաքրության ամենաբարձր չափանիշները

և դիմակայել արտադրության մեջ հայտնաբերված կոշտ միջավայրերին: Ընդհանուր նյութերը ներառում են.

*Չժանգոտվող պողպատ (316լ)Ամենալայնորեն օգտագործվող նյութը իր քիմիական դիմադրության, մեխանիկական ամրության և

սինթերինգի տեխնոլոգիայի օգտագործմամբ ծակոտիների ճշգրիտ չափերով պատրաստվելու ունակություն: Հարմար է երկու ռեակտիվները զտելու համար

և իներտ գազեր։

*PTFE (պոլիտետրաֆտորէթիլեն)PTFE-ն քիմիապես իներտ նյութ է, որն օգտագործվում է խիստ ռեակտիվ կամ կոռոզիոն զտելու համար

գազեր. Այն ունի հիանալի քիմիական համատեղելիություն և հիդրոֆոբ հատկություններ, ինչը իդեալական է դարձնում խոնավության նկատմամբ զգայունությունը

գործընթացները։

*Նիկել և Հասթելոյ:

Այս նյութերն օգտագործվում են բարձր ջերմաստիճանի օգտագործման կամ ագրեսիվ քիմիական նյութերի հետ կապված գործընթացների համար

որտեղ չժանգոտվող պողպատը կարող է քայքայվել:

* Կերամիկական:

Կերամիկական ֆիլտրերը օգտագործվում են այնպիսի ծրագրերի համար, որտեղ պահանջվում է ծայրահեղ ջերմաստիճանի դիմադրություն, կամ ենթամիկրոնի համար

մասնիկների ֆիլտրում.

Նյութի ընտրությունը կախված է գազի տեսակից, ռեակտիվ տեսակների առկայությունից, ջերմաստիճանից և

գործընթացի այլ պարամետրեր: Նյութերը պետք է լինեն ոչ ռեակտիվ՝ ապահովելու համար, որ դրանք չներառեն որևէ կեղտ

կամ մասնիկները գործընթացում, դրանով իսկ պահպանելով կիսահաղորդիչների արտադրության համար անհրաժեշտ գազի մաքրության մակարդակը:

Ո՞րն է Օգտագործման կետի (POU) ֆիլտրերի դերը կիսահաղորդչային արտադրության մեջ:

Օգտագործման կետի (POU) ֆիլտրերը կարևոր են կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ, քանի որ ապահովում են գազերի մաքրումը անմիջապես առաջ:

մուտք գործել գործընթացի գործիքներ. Այս զտիչները վերջնական պաշտպանություն են ապահովում աղտոտիչների դեմ, որոնք կարող են ներթափանցել գազի հոսք

պահեստավորման, փոխադրման կամ բաշխման ժամանակ՝ դրանով իսկ բարձրացնելով գործընթացի կայունությունը և արտադրանքի որակը:

POU ֆիլտրերի հիմնական առավելությունները.

*Տեղադրված է կարևոր սարքավորումների մոտ (օրինակ՝ փորագրման կամ նստեցման խցիկներ)՝ կանխելու համար աղտոտվածությունը վաֆլի հասնելու համար:

*Հեռացրեք և՛ մասնիկները, և՛ մոլեկուլային կեղտերը, որոնք կարող են առաջանալ գազի բեռնաթափման համակարգի կամ շրջակա միջավայրի ազդեցության պատճառով:

* Ապահովել, որ գազի հնարավոր առավելագույն որակը մատակարարվում է գործընթացի գործիքին, պաշտպանելով սարքավորումները և բարձրացնելով արտադրված սարքերի որակը:

* Նվազեցնել գործընթացի փոփոխականությունը, բարձրացնել եկամտաբերությունը և նվազեցնել թերության մակարդակը:

*Անփոխարինելի է առաջադեմ կիսահաղորդչային միջավայրերում, որտեղ նույնիսկ չնչին կեղտերը կարող են էապես ազդել արտադրողականության և արտադրանքի հուսալիության վրա:

Ինչպե՞ս են գազի զտիչները կանխում կիսահաղորդչային գործընթացներում սարքավորումների անսարքությունը:

Գազի զտիչները կանխում են կիսահաղորդչային գործընթացներում սարքավորումների խափանումները՝ ապահովելով, որ գործընթացի գազերը մշտապես զերծ են

աղտոտիչներ, որոնք կարող են վնաս հասցնել արտադրական սարքավորումներին: Կիսահաղորդիչների արտադրությունը ներառում է բարձր

զգայուն սարքավորումներ, ներառյալ նստեցման խցիկները, պլազմային փորագրման մեքենաները և ֆոտոլիտոգրաֆիայի համակարգերը:

Եթե ​​աղտոտիչները, ինչպիսիք են փոշին, խոնավությունը կամ ռեակտիվ կեղտերը մտնում են այս մեքենաները, դրանք կարող են առաջացնել մի շարք խնդիրներ,

փականների և վարդակների խցանումից մինչև վաֆլի մակերեսների կամ ռեակտորի ինտերիերի վնասելը:

Օգտագործելով բարձրորակ գազի ֆիլտրեր՝ արտադրողները կանխում են այդ աղտոտիչների ներմուծումը, նվազեցնելով դրա հավանականությունը.

չպլանավորված սպասարկում և սարքավորումների խափանումներ. Սա օգնում է պահպանել արտադրության կայուն գրաֆիկը՝ նվազագույնի հասցնելով

ծախսատար պարապուրդ և խուսափել վերանորոգման կամ փոխարինման հետ կապված զգալի ծախսերից:

Բացի այդ, լավ պահպանված զտիչները օգնում են երկարացնել հիմնական բաղադրիչների կյանքի տևողությունը, ինչպիսիք են հոսքի կարգավորիչները, փականները և ռեակտորները,

դրանով իսկ բարձրացնելով արտադրական գործընթացի ընդհանուր արդյունավետությունն ու շահութաբերությունը:

Այսպիսով, հետո ստուգեք որոշ մանրամասներ կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերի մասին, եթե դեռևս մի քանի հարց ունեք:

Պատրա՞ստ եք օպտիմալացնել ձեր կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը բարձրորակ գազի ֆիլտրման լուծումներով:

Կապվեք HENGKO-ի հետ այսօր՝ փորձագիտական ​​ուղղորդման և ձեր կարիքները բավարարելու համար հարմարեցված լուծումների համար:

Կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրի մասին որոշ մանրամասներ ստուգելուց հետո, եթե ավելի շատ հարցեր ունեք:

Պատրա՞ստ եք օպտիմալացնել ձեր կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացը բարձրորակ գազի ֆիլտրման լուծումներով:

Կապվեք HENGKO-ի հետ այսօր՝ փորձագիտական ​​ուղղորդման և ձեր կարիքները բավարարելու համար հարմարեցված լուծումների համար:

Գրեք մեզ էլka@hengko.comլրացուցիչ տեղեկությունների համար:

Մեր թիմն այստեղ է՝ օգնելու ձեզ բարձրացնել ձեր արտադրության արդյունավետությունը և արտադրանքի որակը: