Կիսահաղորդչային գազի զտիչներ.
Գազի անբասիր մաքրության ապահովում չիպերի արտադրության մեջ
Կիսահաղորդիչների արտադրության բարդ աշխարհում, որտեղ ճշգրտությունն ու մաքրությունը առաջնային են, որակը
օգտագործվող գազերը կարևոր դեր են խաղում գործընթացի հաջողության որոշման գործում: Կեղտերը, նույնիսկ անսահման փոքր մակարդակներում,
կարող է ավերածություններ առաջացնել միկրոչիպերի նուրբ սխեմաների վրա՝ դրանք դարձնելով թերի և անօգտագործելի: Պաշտպանելու համար
Այս կրիտիկական գործընթացում կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերը կանգնած են որպես չզիջող պահապաններ՝ մանրակրկիտ հեռացնելով աղտոտիչները
և ապահովելով արտադրական գծերով հոսող գազերի անաղարտ որակը:
Գոյություն ունեն սինթրած մետաղական ֆիլտրերի հիանալի հատկություններ և առավելություններ
1. Ստեղծված է ժամանակակից մաքուր միջավայրում
Այս զտիչները ծնվում են ժամանակակից մաքրության սենյակում, միջավայրում, որտեղ անթերի պայմանները մանրակրկիտ պահպանվում են՝ նվազագույնի հասցնելու հնարավոր աղտոտումը: Նրանք ենթարկվում են խիստ արտադրական գործընթացի՝ սկսած մաքրված օդի մթնոլորտում ճշգրիտ եռակցումից: Հետագա դեիոնացված ջրի լվացումը, որին հաջորդում է բարձր ճնշման, ֆիլտրացված ազոտի մաքրումը, վերացնում է մնացած մասնիկները և նվազեցնում մասնիկների թափվելու վտանգը:
2. Մասնիկների հեռացման բացառիկ արդյունավետություն
0,003 μm մասնիկների համար 9 LRV զգալի զտման արդյունավետությամբ, պահպանելով SEMI F38 և ISO 12500 փորձարկման մեթոդներով սահմանված խիստ ստանդարտները, այս ֆիլտրերը արդյունավետորեն հեռացնում են կոռոզիայից առաջացած ցանկացած մասնիկ և շարժվող մասերից առաջացած մասնիկներ՝ ապահովելով անաղարտ մաքրությունը: գազեր.
3. Բարձրագույն մեխանիկական ուժ
Խստորեն փորձարկված՝ երաշխավորելու բացառիկ ճկունություն պահանջկոտ արտադրական գործընթացներում և միջավայրերում, որոնք հաճախ օգտագործում են գազի բարձր ճնշում, այս ֆիլտրերն ապահովում են անսասան աշխատանք իրենց կյանքի ողջ ընթացքում:
4. Արդյունաբերության ամենաբարձր ստանդարտների գերազանցում
Գերազանցելով կիսահաղորդչային մշակման համար գազի բեռնաթափման խիստ պահանջները՝ այս ֆիլտրերը ենթարկվում են խիստ փորձարկման՝ երաշխավորելու, որ դրանք համապատասխանում են ֆիլտրման կարևորագույն արդյունավետությանը, հոսքի ճշգրիտ վերահսկմանը և անվտանգության չափանիշներին, որոնք պահանջվում են կիսահաղորդչային արտադրության մեջ գազի մատակարարման համակարգերի կողմից:
5. Անվտանգության անսասան պարտավորություն
Դյուրավառ, քայքայիչ, թունավոր և պիրոֆորային գազերի ազդեցությունից պաշտպանվելու համար ֆիլտրի պատյանները ենթարկվում են մանրակրկիտ արտահոսքի փորձարկման՝ ապահովելով նրանց արտահոսքի զգալի արագություն՝ 1x10-9 ատմ խ/վ/վրկ-ից պակաս: Անվտանգության նկատմամբ այս անսասան հավատարմությունն ապահովում է վտանգավոր գազերի պարունակությունը և կանխարգելումը վնաս պատճառելուց:
6. Անզիջում մաքրություն չիպսագործության գերազանցության համար
Իրենց բացառիկ ֆիլտրման հնարավորությունների, անվտանգության նկատմամբ անսասան հավատարմության և արդյունաբերության ամենաբարձր չափանիշներին համապատասխանելու շնորհիվ՝ այս գազային զտիչները առանցքային դեր են խաղում կիսահաղորդիչների արտադրության բարդ գործընթացի պահպանման գործում: Նրանք հանդես են գալիս որպես մաքրության պահապաններ՝ ապահովելով, որ միայն ամենամաքուր գազերը հոսեն արտադրական գծերով՝ ճանապարհ հարթելով բարձր արդյունավետությամբ միկրոչիպերի ստեղծման համար, որոնք սնուցում են մեր ժամանակակից աշխարհը:
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերի տեսակները
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերը օգտագործվում են մի շարք ծրագրերում, ներառյալ.
* Էլեկտրոնիկայի արտադրություն.
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերը օգտագործվում են գերմաքուր ջրից, գազերից և կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվող քիմիական նյութերից մասնիկները հեռացնելու համար:
* Քիմիական մեխանիկական պլանավորում (CMP):
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերը օգտագործվում են CMP-ի փոշիներից մասնիկները հեռացնելու համար, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային վաֆլիները փայլեցնելու համար:
* Կենսաբժշկական.
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերը օգտագործվում են բժշկական ախտորոշման և բուժման մեջ օգտագործվող հեղուկներից մասնիկները հեռացնելու համար:
* Բնապահպանական:
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերը օգտագործվում են օդից և ջրից մասնիկները հեռացնելու համար:
Կիսահաղորդչային ֆիլտրերի չորս հիմնական տեսակ կա.
1. Մեմբրանային զտիչներ.
Մեմբրանային ֆիլտրերը պատրաստված են բարակ ծակոտկեն թաղանթից, որը թույլ է տալիս հեղուկներին անցնել միջով, մինչդեռ մասնիկները թակարդում են:
2. Խորության զտիչներ.
Խորության զտիչները պատրաստված են հաստ, ոլորապտույտ նյութից, որը փակում է մասնիկները, երբ դրանք հոսում են ֆիլտրի միջով:
3. Adsorbent ֆիլտրեր:
Adsorbent ֆիլտրերը պատրաստված են նյութից, որը ձգում և պահում է մասնիկները:
4. Պղտորված մետաղական զտիչներ
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը խորության ֆիլտրի մի տեսակ են, որը սովորաբար օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ: Դրանք պատրաստվում են մանր մետաղի փոշին ծակոտկեն կառուցվածքի մեջ սինթեզելով։ Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը հայտնի են իրենց բարձր դիմացկունությամբ, ֆիլտրման բարձր արդյունավետությամբ և բարձր ջերմաստիճաններին և ճնշումներին դիմակայելու ունակությամբ:
Կիսահաղորդիչների արտադրության համար սինթրած մետաղական ֆիլտրերի առավելությունները.
* Բարձր ամրություն.
* Զտման բարձր արդյունավետություն.
* Երկար կյանք.
* Քիմիական համատեղելիություն.
Սինտերված մետաղական ֆիլտրերի կիրառությունները կիսահաղորդչային արտադրության մեջ.
* Գազի մաքրում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացի էական մասն են, որոնք օգնում են ապահովել բարձրորակ կիսահաղորդչային սարքերի արտադրությունը:
Որոշակի հավելվածում օգտագործվող կիսահաղորդչային ֆիլտրի տեսակը կախված է հեռացվող մասնիկների չափից, ֆիլտրվող հեղուկի տեսակից և ֆիլտրման ցանկալի մակարդակից:
Ահա աղյուսակ, որն ամփոփում է կիսահաղորդչային զտիչների տարբեր տեսակները.
Զտիչի տեսակը | Նկարագրություն | Դիմումներ | Պատկեր |
---|---|---|---|
Մեմբրանային զտիչներ | Պատրաստված է բարակ, ծակոտկեն թաղանթից, որը թույլ է տալիս հեղուկներին անցնել միջով, իսկ մասնիկները թակարդում են: | Էլեկտրոնիկայի արտադրություն, CMP, կենսաբժշկական, բնապահպանական | |
Խորության զտիչներ | Պատրաստված է հաստ, ոլորապտույտ նյութից, որը փակում է մասնիկները, երբ դրանք հոսում են ֆիլտրի միջով: | ՊԿՊ, կենսաբժշկական, բնապահպանական | |
Adsorbent ֆիլտրեր | Պատրաստված է մի նյութից, որը ձգում և պահում է մասնիկները: | Էլեկտրոնիկայի արտադրություն, CMP, կենսաբժշկական, բնապահպանական | |
Պղտորված մետաղական ֆիլտրեր | Պատրաստված է նուրբ մետաղի փոշին ծակոտկեն կառուցվածքի մեջ սինթեզելով: | Գազի մաքրում, քիմիական ֆիլտրում, ուլտրամաքուր ջրի զտում, CMP ցեխի ֆիլտրում | Կիսահաղորդիչների համար սինտրացված մետաղական զտիչներ |
Դիմում
Պղտորված մետաղական կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերը լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային արդյունաբերության մի շարք կիրառություններում: Նրանց յուրահատուկ հատկությունները, ինչպիսիք են ֆիլտրման բարձր արդյունավետությունը, երկարակեցությունը և բարձր ջերմաստիճաններին և ճնշումներին դիմակայելու ունակությունը, դրանք դարձնում են կիսահաղորդչային արտադրության գազամատակարարման համակարգերի կարևոր բաղադրիչ:
Ահա սինտրացված մետաղական կիսահաղորդչային գազի զտիչների մի քանի հատուկ կիրառություններ.
1. Վաֆլի արտադրություն.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են վաֆլի արտադրության մեջ օգտագործվող գազերը, ինչպիսիք են ազոտը, ջրածինը և թթվածինը մաքրելու համար: Այս գազերը կարևոր են այնպիսի գործընթացների համար, ինչպիսիք են էպիտաքսիալ աճը, փորագրումը և դոպինգը:
2. Քիմիական ֆիլտրում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվող քիմիական նյութերը զտելու համար, ինչպիսիք են թթուները, հիմքերը և լուծիչները: Այս քիմիական նյութերը օգտագործվում են տարբեր նպատակներով, ներառյալ մաքրման, փորագրման և փայլեցման համար:
3. Ուլտրամաքուր ջրի զտում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվող գերմաքուր ջուրը (UPW) զտելու համար: UPW-ն անհրաժեշտ է վաֆլիները մաքրելու և ողողելու, ինչպես նաև քիմիական նյութեր պատրաստելու համար:
4. CMP slurry ֆիլտրում:
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են CMP-ի լուծույթները զտելու համար, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային վաֆլիները փայլեցնելու համար: CMP-ը միկրոչիպերի արտադրության կարևոր գործընթաց է:
5. Օգտագործման կետի (POU) զտում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը հաճախ օգտագործվում են որպես POU ֆիլտրեր, որոնք տեղադրվում են անմիջապես օգտագործման կետում՝ ապահովելու ֆիլտրման ամենաբարձր մակարդակը: POU ֆիլտրերը հատկապես կարևոր են այն ծրագրերի համար, որտեղ գազի մաքրությունը կարևոր է, օրինակ՝ միկրոպրոցեսորների և բարձր արդյունավետության այլ սարքերի արտադրության մեջ:
6. Բարձր մաքրության գազի բեռնաթափում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են բարձր մաքրության գազի բեռնաթափման համակարգերում՝ կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվող գազերից աղտոտիչները հեռացնելու համար: Այս աղտոտիչները կարող են ներառել մասնիկներ, խոնավություն և օրգանական միացություններ:
7. Միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրություն.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են միկրոէլեկտրոնիկայի արտադրության մեջ, ինչպիսիք են համակարգիչները, պլանշետները, բջջային հեռախոսները, IoT սենսորները և կառավարման սարքերը:
8. Միկրոէլեկտրամեխանիկական համակարգերի (MEMS) զտում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են MEMS ֆիլտրման մեջ, որը միկրոէլեկտրամեխանիկական համակարգերից աղտոտիչների հեռացման գործընթաց է: MEMS-ն օգտագործվում է տարբեր ծրագրերում, ներառյալ սենսորները, ակտուատորները և փոխարկիչները:
9. Տվյալների պահպանման սարքի զտում.
Պղտորված մետաղական ֆիլտրերը օգտագործվում են տվյալների պահպանման սարքերի ֆիլտրման մեջ, որը տվյալների պահպանման սարքերից աղտոտող նյութերի հեռացման գործընթաց է, ինչպիսիք են կոշտ սկավառակները և պինդ վիճակում գտնվող կրիչները:
Ի հավելումն այս հատուկ կիրառությունների, սինթրած մետաղական կիսահաղորդչային գազի ֆիլտրերը օգտագործվում են նաև կիսահաղորդչային արդյունաբերության մի շարք այլ ծրագրերում: Նրանց բազմակողմանիությունն ու հուսալիությունը դրանք դարձնում են կիսահաղորդչային արտադրողների կարևոր գործիք:
Փնտրու՞մ եք բարձրորակ սինտրացված մետաղական կիսահաղորդչային գազի զտիչներ:
HENGKO-ն կիսահաղորդչային արտադրության համակարգերում OEM լուծումների ձեր հիմնական գործընկերն է:
Մեր ճշգրիտ նախագծված ֆիլտրերը ապահովում են հուսալիություն և արդյունավետություն ձեր գործընթացներում՝ առաջարկելով ձեզ առավելություն մրցակցային շուկայում:
Ինչու՞ ընտրել HENGKO-ի ֆիլտրերը:
* Բարձր որակ և երկարակեցություն
* Անհատականացված լուծումներ, որոնք համապատասխանում են ձեր հատուկ կարիքներին
* Կիսահաղորդիչների արտադրության բարելավված կատարողականություն
Թույլ մի տվեք, որ ֆիլտրման մարտահրավերները հետ պահեն ձեր արտադրությունը:
Կապվեք մեզ հետ այսօր՝ պարզելու, թե ինչպես կարող են մեր սինտրացված մետաղական ֆիլտրերը հեղափոխել ձեր արտադրական համակարգը:
Կապվեք մեզ հետka@hengko.com
Գործընկեր HENGKO-ի հետ և քայլ կատարեք դեպի գերազանցություն կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ: