Բարձր արդյունավետությամբ IGS մակերեսային ամրացման C կնքման ֆիլտրեր կիսահաղորդչային գազի մատակարարման համակարգերի համար

Կարճ նկարագրություն՝

Բրենդ՝Հենգկո

Ֆիլտրի անունը՝IGS մակերեսային ամրացման C-Seal ֆիլտր

Նյութը՝SS 316L

Հոսքի արագությունը՝10 ~ 120 րոպե

Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը՝460° C

Մասնիկների հեռացման չափը՝> 0.003 մկմ

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ Վերադառնալ ենթակատեգորիաներին

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

Նկարագրություն

HENGKO մակերեսային ամրացման ֆիլտրերը նախագծված են կիսահաղորդչային OEM գործիքներում օգտագործվող ինտեգրված գազային համակարգերի պահանջկոտ պահանջները բավարարելու համար: Առաջարկելով արդյունաբերության մեջ առաջատար 0.003 մկմ ֆիլտրացիա, այս ֆիլտրերը ապահովում են բացառիկ կատարողականություն և հուսալիություն՝ մասնիկների որսման արդյունավետությամբ՝ ≥99.9999999% (9-LRV)՝ 120 slpm-ի դեպքում:

Պատրաստված լինելով ամուր 316L չժանգոտվող պողպատից, որը ֆիլտրի տարրի և պատյանի համար մշակվել է փոշեպատմամբ, այս ֆիլտրերը համապատասխանում են SEMI F86-0304 սպեցիֆիկացիաներին, առանձնանում են երկու անցքով բաղադրիչներով, որոնք նախատեսված են 1.125 դյույմանոց գազաբաշխման համակարգերի համար՝ C-seal կոնֆիգուրացիայով: Դրանք ապահովում են առավելագույնը 3.4 ՄՊա մուտքային ճնշում 100°C ջերմաստիճանում և առավելագույնը 0.69 ՄՊա աշխատանքային ճնշման տարբերություն 100°C ջերմաստիճանում:

Այս մասնագիտացված ֆիլտրերը, որոնք համատեղելի են ինչպես C տիպի, այնպես էլ W տիպի կնքման սպեցիֆիկացիաների հետ, ապահովում են ներքևի հատվածում մաքրություն՝ մասնիկների արտանետմամբ։

Ra մակերեսային ծածկույթով< 1.6 մկմ արտաքին մասում և RaՆերքին մասում < 0.13 մկմ տրամագծով, դրանք նախագծված են մինչև 460°C բարձր ջերմաստիճաններին դիմակայելու համար: Նախագծված են հեշտ ինտեգրման և մոդուլային դիզայնի արդիականացման համար, այս ֆիլտրերը պարզեցնում են տեղադրումը և սպասարկումը՝ օգնելով օպտիմալացնել համակարգի աշխատանքը կիսահաղորդչային գազի մատակարարման և կառավարման կիրառություններում:

Արտադրանքի առանձնահատկությունը

▶ Ընդհանուր 316L չժանգոտվող պողպատե կառուցվածք
▶ Մանրացված դիզայն, կոմպակտ կառուցվածք, տարածք խնայող
▶ Գերազանց գազի փոխարինման և դեսորբցիայի բնութագրեր
▶ Բարձր ջերմաստիճանի, բարձր ճնշման և կոռոզիայի նկատմամբ դիմացկուն
▶ Էլեկտրամշակված 316L չժանգոտվող պողպատե պատյան
▶ Հեշտ և արդյունավետ տեղադրում և սպասարկում
▶ Մեխանիկական կնքում, կառուցվածքայինորեն չեռակցված միջավայրին

Բարձր արդյունավետությամբ IGS մակերեսային ամրացման C կնքման ֆիլտրեր կիսահաղորդչային գազի մատակարարման համակարգերի համար

Տվյալների թերթիկ

Տեխնիկական պարամետրեր	Արժեքներ
Ֆիլտրի տարրի նյութ	316L չժանգոտվող պողպատից սինթեզված փոշի
Բնակարանի նյութ	316L չժանգոտվող պողպատ
Առավելագույն մուտքային ճնշում	3.4 ՄՊա @ 100°C
Առավելագույն աշխատանքային դիֆերենցիալ	0.69 ՄՊա @ 100°C
Հելիումի ստուգման արտահոսքի մակարդակը	1x10⁻¹¹ սմ³/րոպե
Հելիումի փորձարկման արտահոսքի մակարդակը	1x10⁻⁹ սմ/րոպե
Մակերեսային մշակում	Արտաքին մակերեսի Ra< 1.6 մկմ
	Ներքին մակերես Ra< 0.13 մկմ
Առավելագույն աշխատանքային ջերմաստիճանը	460°C
Մասնիկների որսման արդյունավետություն	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Հղումային MPPS, բոլոր մասնիկները)
Հոսքի ներքևի մաքրություն	Մասնիկների արտանետում.< 0.03 մասնիկ/լիտր (< 1 մասնիկ/ֆուտ³)
	Ցնդող նյութեր՝< 10 ppb խոնավություն
Մասնիկների խափանման չափը	≥0.003 մկմ
Հոսքի միջակայք	0 ~ 120 slpm